Процессы лазерной и электронно-ионной технологии
Аксенов А.И., Носков Д.А.
Учебное пособие.Томск: Томский государственный университет систем управления и радиоэлек-
троники, 2007. - 110 с.
В данном пособии описаны основные закономерности процессов взаимодействия электронов и ионов с твердым телом, приведены главные способы получения потоков электронов и ионов, а также варианты формирования и управления пучками заряженных частиц, вопросы разработки источников электронов и ионов, причем раздельно рассматриваются источники ионов газов и твердых веществ, в частности ионов металлов. Приводятся возможные варианты классификаций оборудования, электронных пушек и ионных источников по характеру
процессов, взятых за основу при их конструировании.
троники, 2007. - 110 с.
В данном пособии описаны основные закономерности процессов взаимодействия электронов и ионов с твердым телом, приведены главные способы получения потоков электронов и ионов, а также варианты формирования и управления пучками заряженных частиц, вопросы разработки источников электронов и ионов, причем раздельно рассматриваются источники ионов газов и твердых веществ, в частности ионов металлов. Приводятся возможные варианты классификаций оборудования, электронных пушек и ионных источников по характеру
процессов, взятых за основу при их конструировании.
Litres
Want to add your book store? Contact us at [email protected]
File converter
More search results
More benefits 
![Волков А. В. — Исследование технологических режимов плазменного ионно-химического травления на установке "Caroline PE15" [Электронный ресурс] : электрон. учеб.-метод. пособие](https://s3proxy.cdn-zlib.se/covers200/collections/genesis/7fa6e8577e2919bd5ce04347042563ab0426524221475bcaecf0e6312df3610d.jpg)
