Катодное распыление

Main
Катодное распыление

Катодное распыление

Плешивцев Н.В.

0 / 0

0 comments

How much do you like this book?

What’s the quality of the file?

Download the book for quality assessment

What’s the quality of the downloaded files?

В книге дается обзор современного состояния экспериментальных и теоретических исследований катодного распыления. Рассмотрены вопросы практического использования этого явления в науке и технике. Указаны методы борьбы с распылением, когда оно вызывает нежелательные последствия.
Монография может оказать помощь инженерно-техническим и научным работникам электронной, электровакуумной, оптической и полупроводниковой промышленности.
В ней затрагиваются вопросы, которые могут заинтересовать инженеров-физиков, специалистов в области физики плазмы и твердого тела, металлофизиков и химиков, а также студентов.

Year:

1968

Publisher:

Атомиздат

Language:

russian

Pages:

363

File:

PDF, 31.48 MB

IPFS:

russian, 1968