Die Kombination von Plasmanitrierung und plasmagestützter Schichtabscheidung aus der Gasphase (PACVD) in einem Verfahrensablauf
Dr.-Ing. Oliver Morlok (auth.)Categories:
Year:
1998
Edition:
1
Publisher:
Springer-Verlag Berlin Heidelberg
Language:
german
Pages:
147
ISBN 10:
3662066564
ISBN 13:
9783662066560
Series:
IPA-IAO — Forschung und Praxis 268
File:
PDF, 3.62 MB
IPFS:
,
german, 1998