Mikrosystementwurf: Entwurf und Simulation von Mikrosystemen
Prof. Dr.-Ing Manfred Kasper (auth.)Dieses Buch vereint die wesentlichen Aspekte zum erfolgreichen Entwurf von Mikrosystemen und gibt eine geschlossene Darstellung der Grundlagen, Entwurfsmethoden, Simulationsverfahren, Anwendungen und Technologien. Bei diesem Werk steht der Entwurf im Vordergrund, insbesondere die sich aus der Miniaturisierung ergebenden Konsequenzen im Entwurf von Mikrosystemen, da die physikalischen Eigenschaften bei einer Maßstabänderung nicht gleich bleiben. Besondere Beachtung finden die Zusammenhänge und Analogien der elektrischen, mechanischen, thermischen, fluidischen und optischen Funktionselemente, da diese Komplexität leicht unüberschaubar wird.
Categories:
Year:
2000
Edition:
1
Publisher:
Springer-Verlag Berlin Heidelberg
Language:
german
Pages:
382
ISBN 10:
3642571239
ISBN 13:
9783642571237
File:
PDF, 11.72 MB
IPFS:
,
german, 2000
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